Højtydende vakuumventil

En vakuumventil er en enhed monteret i en forsynings- eller udstødningsledning af et vakuumsystem. Det bruges normalt til at isolere vakuumområder såsom proceskamre eller til at kontrollere indgående og udgående gasmængder. Vakuumventiler kan betjenes manuelt, pneumatisk, elektropneumatisk, elektrisk eller elektromagnetisk. Vakuumventiler er en integreret del af ethvert vakuumsystem, og vakuumsystemer bruges i en lang række industrielle produktionsapplikationer.

Visse vakuumprocesser stiller særligt høje krav til renheden samt den kemiske og fysiske stabilitet af procesmiljøet. Det gælder for eksempel næsten alle områder af halvlederproduktion samt mange forskningsfaciliteter, hvor der anvendes vakuumsystemer. Inden for elementær forskning, evnen til at håndtere ekstreme forhold såsom meget høje eller lave temperaturer, stærk stråling og ekstremt højt vakuum (XHV) med tryk op til 10-15 mbar – grænserne for, hvad der i øjeblikket er teknisk gennemførligt og målbare – føjes ofte til disse krav.

Vakuumventiler i disse applikationer adskiller sig fra standardvakuumventiler i følgende henseender:

Minimeret partikelemission

Højtydende vakuumventiler er optimeret til ikke at frigive partikler gennem deres materialer til huse, mekanik eller tætninger ved afgasning, heller ikke gennem deres åbning og lukning eller styre bevægelser ved friktion. Dette opnås ved særlig udvælgelse og behandling af de anvendte materialer og ved visse designdetaljer, der minimerer eller i nogle tilfælde helt eliminerer partikelfrigivelse.

Minimeret bevægelsesimpulser

Hver ventil genererer bevægelsesimpulser gennem sine åbne- og lukkebevægelser. I tilfælde af automatisk drevne ventiler kan disse variere fra små vibrationer til hørbare og mærkbare hårde stød. Disse bevægelsesimpulser kan have en negativ indvirkning på følsomme fremstillingsprocesser, fx gennem yderligere partikelfrigivelse. Ud over designfunktioner minimerer højtydende vakuumventiler disse impulser primært ved at styre bevægelsen i såkaldte bevægelsesprofiler. I lighed med den måde, passagerelevatorer fungerer på, sænkes lukkehastigheden kort før lukkepunktet nås for at undgå at "slå". Disse bevægelsesprofiler kan normalt modificeres, så de for eksempel kan tilpasses de ønskede forhold mht. lukketid og lukkefrekvens.

Neutral kemisk og fysisk adfærd

Vakuumventiler ændrer altid homogeniteten af ​​et vakuumproceskammer, uanset form. Dette sker til dels som et resultat af deres geometri. Indsnævring eller udvidelse af strømningsvejen kan ændre strømningsmodstanden og strømningshastigheden, eller døde rum, såsom bevægelsesrum til ventilplade, kan fremme aflejringsprocesser. Dette sker også gennem åbnings- og lukkebevægelsen, som ændrer strømningsadfærd samt koncentration, fordeling, blanding og temperatur af procesgasser. Højtydende vakuumventiler er optimeret til at kompensere for sådanne påvirkninger, hvor det er muligt, eller for at gøre dem kontrollerbare. Til dette formål er en række yderligere teknikker inkorporeret i designs, der går langt ud over de grundlæggende ventilfunktioner såsom åbning og lukning eller kontrol.

Præcis reproducerbar adfærd

Højtydende vakuumventiler adskiller sig fra standardløsninger primært ved deres meget reproducerbare adfærd. Det betyder, at mens standardløsninger udviser fluktuationer i hver enkelt åbnings- og lukkebevægelse og viser afvigelser fra deres definerede ydeevneværdier over brugsperioden, er højtydende vakuumventiler optimeret til altid at udvise den samme adfærd, defineret inden for meget snævre grænser, over lange brugsintervaller. Det betyder, at de stabiliserer vakuumprocesser og minimerer processtyringens kompleksitet.

Populære tags: højtydende vakuumventil, Kina højtydende vakuumventilproducenter, leverandører, fabrik